Analyseur de gaz résiduels

Un analyseur de gaz résiduels (RGA, sigle de lʼanglais residual gas analyser) est une sorte de spectromètre de masse, généralement petit et robuste, destiné typiquement au contrôle des processus et à la surveillance de la contamination dans les systèmes sous vide. — Wikipédia (CC BY-SA)

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Mots du lexique : analyseur nom commun, Gaz nom propre

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