Microsystème électromécanique
concept
Un microsystème électromécanique est un microsystème fabriqué à partir de matériaux semi-conducteurs. Il comprend un ou plusieurs éléments mécaniques et utilise l’électricité comme source d’énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur ou d’actionneur, avec au moins une structure présentant des dimensions micrométriques ; la fonction du système étant en partie assurée par la forme de cette structure. — Wikipédia (CC BY-SA)
Nature : type de système
Catégories : sciences formelles · sciences · concepts abstraits
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